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当吸气完成时与吸气口隔绝，

从Ⅱ

-

Ⅱ到Ⅲ

Ⅲ断面，

小腔的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程，当

压缩的气体提前达到排气压力时，

从辅助排气阀提前排气。

从断面Ⅲ

Ⅲ到Ⅰ

Ⅰ，

而与排气口相通的小腔的容积进一步地减小压强进一步

的升高，

当气体的压强大于排气压强时，

被压缩的气体从排气口被排

出，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，

从而达到连续抽气的目的。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。

　　动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

抽放泵每次有计划的停机，必须提前通知用户或其主管单位，紧

急情况下停机后应及时通知用户或其主管部门。

五、抽放泵互换运行

1

、

抽放泵需要互换运行时，必须经本单位调度同意后方可进行。

2

、互换抽放泵的操作顺序如下：

）

、备用泵空载运转正常后，

调小运转泵的流量，

并相应调整用户使

用量。

确定工作真空范围

: ----

首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。

因为每一种工艺都有其

适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

确定极限真空度

----

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真

空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低

20%

，比前级泵的极限真空度低

50%

。