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操作中的注意事项

1

、操作电气设备时，必须穿戴绝缘鞋和绝缘手套。

2

、对于反映抽放泵运行状态的各种参数（***浓度、压力、孔板流

量计量压差，流量及设备温度等）及附属设备的运转状态，机房内的

***浓度，在正常情况下应每小时进行观测，记录和汇报一次，

特殊

情况下必须随时观测，记录和汇报。

3

、要经常检查维护抽放系统各种计量装置，阀门和安全装置等，干式真空泵价格，保

证灵活可靠，每天要对全部设备的外表进行一次擦洗。

4

、必须坚守岗位，实行现场交接班，交接班时要对所有设备进行检

查和交接，并履行台帐签字手续。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4

、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要

求，真空泵价格，需要几种泵组合起来，罗茨真空泵价格，互相补充才能满足抽气要求。

如钛升华泵有很高的抽速，但

不能抽氦，而三极型溅射离子泵，

（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，

两者组合起来，水环真空泵价格，

便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，

有的真空泵不能在大气压下工作，

需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5

、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、

分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油

污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

水环泵中，

辅助排气阀是一种特殊结构，

一般采用橡皮球阀，

它的作用是消除泵在运转过程中产生的过压缩与压缩不足的现象。

这两种现象都会引起过多的功率消耗。因为水环泵没有直接的排气

阀，而且排气压力始终是固定的，水环泵的压缩比决定于进气口的

终止位置和排气口的起始位置，然而这两个位置是固定不变的，因

而不适应吸入压力变化的需要。